有金刚石涂层的内圆刀片把晶圆从晶棒上切下来,这些刀片是中心有圆孔的薄圆钢片。
被切割下来的半导体晶圆的表面非常规则,不仅没有损伤,还比普通玻璃还要平整。
但是,哪怕在赵朝阳看来已经非常平整光滑的晶圆,还是被送到了另一个操作间。
这一个房间主要就是对晶圆进行磨片和化学机械抛光,抛光垫以持续的机械摩擦来去除氧化物,当晶圆表面的所有高点被除掉,一块放大到数万倍,其表明都会特别平整的光滑晶片出现。
如果是其他初入行业的半导体企业,在做完这个项目之后就会稍微摩一下背面,然后将其送入下一个环节。
但是有着周瑜的助攻文件提醒,西蜀新科操作室里面的晶圆在正面抛光之后,还进入了更细致的背面抛光处理。
等到抛光环节都结束后,晶圆又被进行边缘倒角处理,尽可能减少制造中的边缘崩边和损伤。
等到复杂的加工过程结束后,一片片光整平滑到极点的晶圆出现在众人面前。
“大家稍等一下,一般在商业包装之前,我们就需要进行最终的评估,然后进行表层氧化防止运输过程中的损伤和污染,最后进行包装。”
杨刚省站出来说话,然后指挥着操作人员开始了最后的步骤。
前面那些环节,每一位操作人员都能够冷静熟练的进行操作,但是到了表层氧化的时候,所有人都情不自禁屏住了呼吸。
这一个项目对比其他工艺项目根本就没有难度,但这就是最后一步了。
等到表层氧化处理完成之后。
呼……
周瑜也下意识深呼吸了一下。
“进行测试和检测吧,虽然我们这里的检测设备没有夏芯国际的那么精密,但好歹也能够测出一些成色。”
周瑜说这话的时候,神态轻松。
实验室其他人也表情轻松,因为这一步在他们进行联合测试的时候就已经做过数次。
最终检测结果自然是合格的。
但就像周瑜所说的那样,西蜀新科的检测设备没有夏芯国际的那么精密,只能够测出一些大概成色。
真正决定这些晶圆是否能够使用,还要看夏芯国际那些造价上千万的检测设备出结果才行。
这一次,西蜀新科久违的“富裕”了一次,给每一位去夏芯国际的研究人员、半导体工程师购买了飞机头等舱的机票。
周瑜亲自带队,赵朝阳、李贤审、杨刚省、李毅风……等项目精英们分别乘坐不同航班的飞机,赶往夏芯国际。
当周瑜等人在上沪市聚齐,赶往夏芯国际的半导体研究大楼时候,芯片部门技术总裁李立珉的助理已经在等待。
在安保守卫处办理完手续之后,周瑜见到了久违的老者。